如果它是旧图像或任何由旧工艺或大节点技术制造的没有“虚拟图案化”的晶圆的图像，那么唯一能让划线道显示颜色的东西就是薄膜干涉。

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然而，从大约0.25 微米（1990 年代初）开始，在拓扑层（与注入相反）处到处（包括划线道）添加了虚拟图案，以处理因微负载和其他图案密度相关工艺而遭受的工艺问题。其中包括反应离子蚀刻和化学机械平面化（或抛光），以及在同一时间范围内引入的 248 nm 深紫外光刻所需的较薄光刻胶涂层问题。而光学接近校正完全是一个不同的想法，像这样添加更大的特征通常被折叠到掩模图案生成的整体 OPC 校正流程中。

如果这个晶圆是这种情况，那么这可能是薄膜或衍射效应（有点像 DVD）

如果它是薄膜，那么薄膜必须足够厚，以便在这张照片中以略微不同的角度产生不同的颜色，这通常是在覆盖有氮化物帽的氧化物钝化之后的情况。顶部通常富含硅的氮化物的折射率为 2.0 或更高，因此菲涅耳反射更高，空气-氮化物界面的作用更像是顶部“镜子”，而不是空气氧化物（或旋涂玻璃）大约 1.5 索引界面会。

但是，尺寸比光波长小得多的技术节点，怎么可能是衍射呢？

是的，一旦一个特征在空气中低于半波长，你就看不到那个波长的彩色衍射图案，即使是用手电筒边看它也是如此。

但是虚拟图案并不总是必须是最小可分辨特征尺寸，这取决于工艺和步骤的细节，但有些可能更大。