我正在尝试模拟从表面到本体的应变传播。我有一个矩形半导体块（约 2 μm 厚），其上沉积了金属栅极（约 25 nm 厚），如下图 xz 平面横截面（在栅极附近放大）所示。x 轴从左到右，z 轴从下到上，y 轴进入图片。

我正在用约束固定底部边界，其他表面是自由的，并且所有域的所有初始值都为零。使用线性弹性材料 > 初始应力和应变（应用于金属门域）我将应变和。经过静态研究，我在下面的同一张图中$\epsilon_{xx} = 10^{-2}$$\epsilon_{yy} = 10^{-2}$$\epsilon_{xx}$

根据应变传播，接触下的正表面应变（以及间隙下的负表面应变）应该一直传播到底部（以指数衰减）。然而，在我的模拟中，应变会在一定深度发生逆转。即使我将初始应变从更改为，这种反转仍然发生在那个深度。这不应该发生。$10^{-2}$$10^{-3}$