我正在尝试使用 Comsol 5.4 为空气中的一小部分金属盒找到电容矩阵。这里介绍的几何是一个简单的几何，它重现了我遇到的问题。

模拟设置：有效的方法

现在我将几何长度单位设置为“um”。为了创建我的块数组，我首先创建了一个 40 x 40 x 20 单位块，然后制作了一个 3 x 3 的数组，其中 x 和 y 间距为 50。将其与默认（自由三角形）网格进行网格划分给了我以下内容。

对于我的模拟，我使用“静电学，边界元（esbe）”物理。我将模拟域选择设置为“所有空隙”。我将“All Voids”的材质设置为“Air”，并且没有为块定义材质。我保留了所有默认的 esbe 边界条件（电荷转换、零电荷 1、零电荷 2、初始值）。但随后通过使每个块的所有 6 个边界成为电压端子来覆盖几乎所有这些。

这个模拟有效。我能够运行我的固定源扫描并提取麦克斯韦电容矩阵，它给了我看起来合理的数字。

什么是破碎

我将几何长度单位切换为“nm”。生成的网格看起来与这个相同，但单位为“nm”而不是“um”。其他一切都保持不变。我尝试运行此模拟并收到以下错误：

There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term1.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term2.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term3.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term4.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term5.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term6.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term7.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term8.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
There are 1 void equations (empty rows in matrix) for the variable comp1.esbe.term9.V0_ode.
at coordinates:  (0,0,0), ...
and similarly for the degrees of freedom (empty columns in matrix).
Returned solution is not converged.
Not all parameter steps returned.

通过手动设置端子电压并为每个端子运行静态仿真，我已经能够在纳米尺度上从该几何图形中手动提取电容矩阵。这是乏味、耗时的，而且不应该是必要的。据我了解，按照此处的说明进行半手动终端扫描应该是可能的，但我无法尝试此操作，因为“PortName”从未作为有效参数出现在我的参数扫描中（是的，我启用了“激活手动终端扫描”）。我使用的是 esbe 而不是本教程中使用的 es 物理。也许我还有其他事情要做？

我该怎么做才能使固定源扫描模拟在 nm 尺度上正常工作？或者，如果这是不可能的，参数化终端扫描。