什么是“风险晶片”?

电器工程 集成电路 制造业
2022-01-18 00:45:34

在集成电路制造中,我遇到了“风险晶圆”一词,它似乎与“普通”晶圆不同。但是我在网上找不到任何关于风险晶片到底是什么的信息。

1个回答

当您将设计发布到制造阶段,即流片、断裂(掩模制作)然后开始批量时,正常情况是您开始的 ES(工程样品)批量小于完整的生产批量 (25),其大小为此 ES 批次取决于晶圆厂,但通常为 12 台左右。然后,您在过程中的各个点放置晶圆支架。您从 12 个晶圆开始,但其中 3 个在注入时固定,然后另外 3 个在栅极多晶硅蚀刻处固定,然后另外 3 个在金属 1 处固定,从而允许最后 3 个进行到最后步骤。

这样做是为了如果您在各个步骤中发现问题,您可以纠正这些问题,然后重新启动这些保留的晶圆,而不会产生很长的时间延迟。此外,将 25 块晶圆厂报废也没有任何意义。

您永远不能只保留 1 个晶圆,因为许多处理步骤一次处理多个晶圆(例如 6 个或 3 个或 4 个),因此如果您只停止一个晶圆,它必须有一个替换的“虚拟”晶圆具有类似的处理到位。晶圆厂不喜欢将产能浪费在废料上。

每个站点的持有量将取决于机器(该机器中心的 3 个晶圆或 4 个晶圆等)。

您提到的“风险晶圆”可能是 3 个中的第一个批次,它通过 ES 并在该批次中的其他晶圆的不同位置停止或保持。第一个通过的风险更大。存放在不同位置的晶圆可能没有那么危险,因此它们可能不被视为风险晶圆。尽管有些晶圆厂确实这么认为。

最后,在一些晶圆厂中,任何不合格的晶圆运行都被视为风险晶圆。

因此,该术语将取决于您使用的晶圆厂。

向@bdegnan 致敬,他指出,在某些晶圆厂中,“风险晶圆”是已请求并授予工艺豁免的晶圆。因此可能会要求更改工艺步骤、剂量,或者添加新的镫骨(尚未通过资格认证),甚至是 DRC(设计规则检查)豁免。从评论中捕捉到这一点。